供應(yīng)日本CKD小型流量感測(cè)器喜開(kāi)理感測(cè)器

小型流量感測(cè)器可以用在機(jī)械、汽車(chē)、計(jì)量?jī)x器、精密儀器等域和半導(dǎo)體、
生物等*域以及醫(yī)療、食品域等上，用途非常廣泛多樣。
適用流體
感測(cè)器的用途
各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認(rèn)
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
有否故障、確
可處理的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)
以輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。
可處理的流量量程大。
①與壓力感測(cè)器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）
②由于是通過(guò)流量探測(cè)的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。
③可以探測(cè)出噴嘴或過(guò)濾器的孔口堵塞。
④通過(guò)流量探測(cè)，可以管理傾斜吸附等吸附錯(cuò)誤。
利用壓力感測(cè)器時(shí)有時(shí)差壓過(guò)小而無(wú)法判別，此
時(shí)根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進(jìn)行判別。
激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管
處置的流量量程大。
內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可以
輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認(rèn)
與壓力感測(cè)器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時(shí)）
小型流量感測(cè)器（使用FSM2-※010時(shí)） 壓力感測(cè)器
落座確認(rèn)
流量差 ：830mL/min
壓力差 ：2kPa
吹掃氣體的管理對(duì)于保持設(shè)備裝置的
是*的。
由于是超小型產(chǎn)品，因此很容易裝入設(shè)備

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