寶德BURKERT式流量傳感器特性概覽

工作電源
輸出信號 標準脈沖信號，晶體管NPN或PNP，集電極開路，
zui大100mA
本體材質(zhì) PA（8023的本體）
8030與8021
允許的傳感器 霍爾式 / 霍爾“低功率"式
流量顯示包括2個累加器
體式、面板式或墻裝式
批量控制器具有3種批量模式（現(xiàn)場按鍵輸入、
二進制輸入和時間比例觸發(fā)批量控制）
zui大誤差以測量范圍的%表示：
標準K系數(shù)校正：≤±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.)
校正（Teach-in）：≤±0.5% o.F.S.
霍爾式（參見技術參數(shù)表） 1
2 to 30 V DC DIN 43650 M16×1.5
8021型標準脈沖輸出模塊，接插式 12 to 30 V DC 1 x M16×1.5
測量范圍 From 1 l/min
流速 0.3 to 10 m/s
測量誤差[%] ≤ ±(0.5% o.F.S. +2.5% o.R.) 這兩個電阻都直接位于氣體通道內(nèi)；另外三個電阻位于氣體通道之外。
這五個電阻連接成個測量電橋。
氣體通道中的個電阻 (RT) 測量介質(zhì)溫度，另個低阻值電阻 (RS) 不斷被加熱，使其與介質(zhì)溫度（由 RT 測得）之間始終保持個恒定的溫差。
所需的加熱電流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測得的流量非常。
由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內(nèi)，所以當設定值或?qū)嶋H值變化時，該傳感器的響應時間極短，只有幾百毫秒。
此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進行測量的式傳感器不同，CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。
主管道中的層流元件產(chǎn)生個必需的壓差，使小部分流量進入旁路管道。
旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜的硅芯片，用于測量流量。
采用 CMOS 傳感器技術，在這塊膜上有個加熱電阻和兩個對稱的溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
如使加熱電阻保持在個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的電壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的流量。
該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸，因此具有許多特定的，其中之就是對于流量變化的響應極快。
帶 CMOS 傳感器的 MFC 具有100 ms 的響應時間，且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。
該式傳感器為 CTA（恒溫風速計） 工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間保持個恒定的溫差。

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